光刻机核心器件迎来大玩家,华为加码入局

据企查查6月4日的资料显示,国内高端准分子激光技术厂商北京科益虹源光电技术有限公司发生工商信息变更,新增华为旗下的“哈勃投资””、徐州光远股权投资合伙企业(有限合伙)及自然人江锐成为公司股东,同时注册资金由12000万元提升至20160万元,增幅达68%。其中,哈勃投资持股4.7619%。

科益虹源成立于2016年7月,由中国科学院微电子所、亦庄国投、国科科仪等共同出资设立。随着2018年3月科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货,打破了国外厂商的长期垄断。科益虹源也成为了中国唯一、世界第三家具备193nm ArF准分子激光技术研究和产品化的公司。

科益虹源还承担了“02重大专项浸没光刻光源研发”、“02重大专项核心零部件国产化能力建设”、“02重大专项集成电路晶圆缺陷检测光源”等国家专项。此外,科益虹源也是国产光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商。此前消息也显示,科益虹源还将与上海微电子整机单位共同完成28nm国产光刻机的集成工作。

根据此前曝光的招聘信息也显示,华为正在招募光刻机研发人才。去年,芯智讯曾爆料华为到多家半导体设备厂挖人的消息。对于此次华为通过旗下投资公司入股国产光刻机光源供应商科益虹源一事,芯智讯称这或是为了助力光刻机相关核心器件的突破,以便后续华为为其自研光刻机铺路。

相关公司:

东方中科:客户包括科益虹源。

容大感光:公司的光刻胶产品主要包括紫外线正胶、紫外线负胶两大类产品以及稀释剂、显影液、剥离液等配套化学品,主要应用于集成电路、平板显示、发光二极管制造等领域。

雅克科技:公司光刻工艺中所涉及到的电子化学品,包括稀释剂、显影液、漂洗液、剥离液等,光刻胶配套试剂与光刻胶配套使用。

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版权声明:Aaron 发表于 2021年6月8日 上午1:37。
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